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化学蚀刻(预处理技术)

工艺介绍


化学蚀刻:将液晶面板经过预处理后,在蚀刻槽中与氢氟酸+催化剂+缓冲剂的药液中产生化学反应,再通过均匀的气泡将玻璃表面由于化学反应后产生的不溶性物质带走,从而达到将面板减薄的目的。主要采用了自主研发的化学配方以及改进后的蚀刻设备,具有以下的优势:

1、挥发性少、毒性小,操作安全。

2、蚀刻液利用率高,速率快而平稳。

3、废液处理成本和后续处理成本低。

4、蚀刻效果佳,蚀刻后良率高,抛光比率低。

5、蚀刻后厚度均匀性较好,同片玻璃的均匀性可控制在土15um以内。

6、运用在线测量,能更好更准确的控制玻璃厚度,并提高制程效率。

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